磕空气？”
倪光南颤抖着手接过文件，只看了第一页的示意图，呼吸就变得急促起来。
那是一个极其大胆、却又在理论上完美闭环的设计。
利用水的折射率，将193纳米的光源“欺骗”成134纳米。这不仅仅是技术的突破，这是思维维度的降维打击！
“快！快！”倪光南突然像个疯子一样大吼起来，把手里的图纸撕得粉碎，“把那台ASML的废机器抬过来！拆掉工件台！给我准备去离子水！我们要改装！”
“倪工，这可是价值千万的设备……”
“拆！出了事我负责！”倪光南一把推开阻拦的研究员。
……
凌晨四点。
实验室里一片狼藉。那台原本精密的ASML光刻机，此刻被改得面目全非。核心曝光区域被加上了一个简陋的、甚至是用玻璃胶密封的注水槽。
“注水完毕。无气泡。”
“液面稳定。”
“光源预热完成。”
所有人的心都提到了嗓子眼。
陈山依然坐在角落里，手里盘着核桃，神色平静。陈念则站在倪光南身后，目光紧锁着监视器。
“曝光。”倪光南按下了红色的按钮。
“滋——”
看不见的紫外激光穿过透镜，穿过那层清澈的去离子水，最终轰击在涂满光刻胶的硅片上。
几秒钟后。
显微镜的图像被投射到了大屏幕上。
死寂。
又是死寂。
紧接着，是一声压抑不住的抽泣。
屏幕上，那些原本在干式光刻下模糊不清、粘连在一起的线条，此刻变得根根分明，锐利如刀。
那是90纳米级别的线条。
那是全世界都在梦寐以求、却始终无法触及的精度。
“成了……”刚才那个反对最激烈的老专家，此刻跪在地上，捧着脸痛哭流涕，“真的成了……竟然真的成了……”
实验室里爆发出了雷鸣般的欢呼声。有人把帽子扔上了天，有人抱在一起跳，倪光南靠在实验台上，摘下眼镜，擦去了眼角的泪水。
这一刻，他们跨越了整整两代技术鸿沟。
当西方还在为157纳米光源焦头烂额时，中国已经拿到了通往45纳米、甚至28纳米制程的钥匙。
“安静。”
陈念的声音带着一股冷意，瞬间
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