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第567章 故障排除靠重启(5400)

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  巨大的新风管道呼呼作响,将绝对清洁的空气送进厂房之内。

一名身穿全身无尘服的研究员指着那台跟没有窗户的铁房子似的设备,给同样身穿无尘服的方豫做着讲解。

通过无尘服的透明面罩,能看到张博士的那张圆脸。

“周微电子的ICP-RIE等离子蚀刻机上周刚刚到货,现在正在装配,Compact-300薄膜沉积系统大概还要一周左右。”

张博士的头圆脸也圆,但不是胖,就是圆,看上去年纪并不大,眼袋却非常严重,明显是长期没睡好。

“这边主要是前道工艺的区域,要求的洁净度非常高,蚀刻机、圆晶AOI和探针台都在这个区域,洁净度低于Class10。”

张博士带着二人,一边走,一边指着通道两侧的设备介绍道。

宁雨好奇的扭头看了看,光刻机?蚀刻机?那是什么?

没看到什么机器啊,只看到一排排灰色铁房子一样的东西。

“Orbotech自动光学检测机基本已经调试完毕了。”

“这批货算是捡了个便宜,Orbotech应该正在谈被收购,全力做高营收,拉高估值,钱到位,什么都敢卖。”

张博士嘿了一声,语气中颇为不屑。

“百分之六十的生产设备现在都可以做到国产化替代,但关键设备都没办法国产。”

“不只是DUV和EUV光刻机,包括CMP化学机械抛光、晶圆封装、MEMS封装/传感器对准、MTF测量……全都只能高价买二手。”

说着,穿过两排设备区,前方又出现一道带有红色隔离标识的门。

张博士摘下挂在胸前的工牌对着感应器一刷,又在虹膜识别器前稍一俯身。

“权限已确认。”人工语音响起,门发出了“噗嗤”一声,自动打开。

看到门内是一条长长的甬道,四壁和顶部全是各种喷口的孔洞,宁雨就忍不住有点紧张。

刚刚不是喷过一次了吗?还要喷啊?

进入前道工艺车间前,张博士就带着穿好无尘服的二人进行了一次风淋,当时风淋间内巨大的气流声甚至让宁雨有种窒息的感觉。

明明穿着无尘服,呼吸也不受影响,但感受到超强的气流将无尘服吹的猎猎作响,还是让宁雨感觉有些紧张。

“DUV要求的洁净度更高,所以必须进行二次风淋。”

张博士稍稍解释了一句


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