性能也没那么强劲。
别说对标阿斯麦还在设计中的下一代光刻机了，甚至比现在主流的光刻机性能还要差上那么一点。但最小na数值孔径也做到了1.36。
根据反馈来看，只需要稍作调整，就能完成极限制程3nm的制作工艺。
虽然比阿斯麦最新款的两纳米极限工艺还要差了一点，但基本上可以说跟上了主流，跟国际顶尖水平的差距也已经缩小到可以容忍的地步。
而且真要对比的话，光刻工厂的生产效率可要远高于单台光刻机，搭配智能化的操作系统，最多能同时批量光刻十三种规格不同的芯片。理论上可以达到每小时2737片的生产效率。
当然光刻工厂占地也远比光刻机要庞大。
总之就是各有千秋。
当然，现在依然处于试机过程中。
暂时还不会正式交付开始进行生产。
而且光刻工厂建设周期较长，但对于现在的华夏来说，这些缺点都可以被无视。
因为光刻工厂的所有零配件实现了全国产，完全不怕被卡脖子。
可想而知此时的张志坚有多兴奋，真的，此时在乔泽面前的张志坚看上去像是个兴奋过度的小孩子。
手里拿着光刻工厂加工出的第一批射频芯片，眼眶都红了。
“乔泽，我代表光电精密参与光刻工厂设计跟建设的两千六百多位工程师跟建设者感谢你，更代表华夏数十万半导体人感谢你。你的光刻工厂设计起码帮我们节约了十年时间！十年啊，一代人！”
动情的语气甚至微微颤抖，加上微红的眼眶，让乔泽心底都升起了一丝怪异的情绪，也让办公室里的气氛凭白多了一丝沉重肃穆的气氛。
大概是女性更容易被感性的言语所感染，苏沐橙都敛去了挂在嘴边的笑容，显得严肃了许多。
这也让乔泽少有的沉吟了很久，才开口回答了一句：“其实我对这个项目没什么贡献。”
下一刻张志坚的脑袋摇得如同拨浪鼓般，郑重的说道：“不不不，乔教授，你的贡献有目共睹，可以说没有你，压根就不可能有这个项目。这也是我们整个光刻工厂项目所有工程师公认的。这项工程，你居功至伟。
我们内部都已经达成了一致意见。等这项技术正式通过上级部门的检验，未来申报功劳的时候，排第一的必须得挂着你的名字。请放心，光电所上上下下，对此没有任何疑义。”
苏沐橙看了眼乔泽，眼睛里像是有
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